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ICP/CVD/PVD尾气处理设备

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ICP/CVD/PVD尾气处理设备

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  • 产品介绍

    根据ICP、CVD、PVD三种设备排出有毒气体的类型，可选用三种不同尾气处理设备。

    将半导体制程中ICP、CVD、PVD设备排出有毒、有害气体透过尾气处理器处理后，可有效减少排放管路内的结晶，并排至中央废气处理，达到排放标准。

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